自動測定

Elliminate
human error

Automation Arrow bullets
Auto loading

ハンドラー

各種ハンドラーと連結し完全自動測定にも対応。以下のハンドラーにて実績がございます:

Sigma EFEM
Easy programming

Easy programming

ソフトウェアは自社開発、柔軟かつスピーディーな対応。

  • ウェハマップのインポート
  • マトリックス選択
Wafer-map-import
Smart vision

スマートマシンビジョン

See the unseen with up to 3 live camera options. Bring out the features of interest with images or videos using high-resolution cameras, flexible LED illumination, and fantastic image processing options. Well shot images can be the input for automatic grading.

  • 最大3台のカメラに対応
  • 画像処理
  • Optical 3D function
Avanced camera options (image processing)
Tool alignment

ツールの位置合わせ

Precise tool alignment is essential to test the correct bonds correctly. Concentricity correction achieves tool eccentricities less than 5 µm, and unique tool designs can be of help during alignment. We offer solutions in customized hook foot lengths or a self-aligning shear tool, which corrects for any tiny but important angular difference between tool and sample. Using the camera and deep access tooling allows you to test complex sample architecture. Switch between different tools in seconds with our unique rotating 6-in-1 test head RMU.

Deep access alignment
パターン認識

パターン認識

Define recognizable shapes, patterns, or marks as a global or local reference for positioning and automatic tool alignment. Make sure your sample is in position to test the correct bonds. Fiducials help to correct for any displacements. With camera visualization, it is easy to define recognizable shapes, patterns, or marks as a global or local reference.

Fiducial-recognition-
ワイヤ検出機能

ワイヤ検出機能

Recognition of components and fine pitch wires that are swept out of position due to process tolerances or part handling. Teach the exact position between the first and second bond using camera visualization and the AOI editor. Simply correct missing wires or recognition problems during the automation cycle or after via extensive reports.

Wire-detection
破壊モード入力

破壊モード入力

一般的なボンドテスターのマニュアル測定では、各測定毎にボンドテスターの実体顕微鏡で破壊モードを確認・記録します。また、微細なサンプルでは必要に応じてオフラインの顕微鏡を使用する必要がありました。Sigmaではこうした通常の方法に加えて、aditionally, operators do the grading after each test. The Sigma offers 2 alternatives to make this process more efficient and consistent.

  • 全ての測定の測定終了後、破壊モードの確認・入力を一括でまとめて実施。実体顕微鏡やオフセットカメラの画像により確認・入力を実施します。各測定座標までは自動的に移動しますので、作業者は破壊モードの判定作業に集中できます。
  • はんだバンプのシェアテスト等の一部の測定では画像処理による自動破壊モード選定に対応します。
Grading-overview-ball-shear
自動破壊モード判定

破壊モード自動判定

ウェハバンプシェアテストでは、世界のリーディング企業が自動破壊モード判定を採用しております。画像認識により、シェア後のはんだの残り量を自動検出し、その結果を元に破壊モードを自動判定します。画像認識には半導体・電子部品製造業界で実績豊富なHalcon社の画像処理ライブラリ―を採用。 With deep learning and the advanced Halcon library, we train a neural network to do the image processing for you. By classifying the failure mode criteria beforehand, image recognition is ready to perform automatic grading without any assistance.

Auto-grading-with-results
画像処理による測定

AOI

Quickly measure manually in captured images by drawing lines or shapes (rectangles, ellipses) and measure:

  • 二点間の距離
  • 長さ
  • 高さ
  • 面積

For more advanced image processing, filtering, segmentation, and detection of shapes, you can use Automated Optical Inspection (AOI). AOI allows you to examine test results and to measure features between objects, and angles.

image-measurement
データ通信

データ出力/通信

測定データ・レポートは自動生成・出力。ファイル、シリアルポート、クリップボードへのエクスポート、SECS/GEMに対応。

複数装置間でデータをシェア

  • 複数のテスターで測定設定情報や測定データを共有
  • データバックアップはサーバーにて確実に実施されます
  • Historical information records
  • Data integrity

SECS/GEM

測定結果、画像、測定条件、測定データ等のSECS/GEM双方向通信に対応します。(オプション)

SECS-GEM
Central database

お問い合わせ

Herbert Stuermann


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