Mit zusammengesetzten Oberflächenbildgebungstechniken ist es möglich, die Höhen eines Merkmals auf Proben genau zu bestimmen. Sie können optische 3D-Funktionen verwenden, um die Loophöhen zu bestimmen, ohne den Draht zu berühren, oder um Bilder zu erzeugen, auf denen alles scharfgestellt ist.
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