Newsletter: 300mm (12インチ)ウェハのテストに最適なボンドテスター

5 September 2014

Condor Sigma W12
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Condor Sigma W12

Condor Sigma W12 (コンドルシグマ モデルW12) は、最新モデル Condor Sigma をベースに、最大12インチのウェア上のバンプの強度試験等に最適化されたモデルで、±0.075%の高精度、回転式測定ヘッド、自動測定機能により、微細化が進むウェハ実装関連の測定ニーズに応える次世代のボンドテスターです。

最大12インチ(300mm)のウェハに対応

Condor Sigma W12 wafer chuck
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Condor Sigma W12専用ウェハチャックホルダ モデルW12は、最大12インチのウェハに対応可能なウェハチャックホルダは、簡単操作で様々なサイズのウェハを簡単・確実に固定可能で、作業者の負担・時間ロスは最小限です。代表的なアプリケーションとして、はんだバンプシェア、はんだバンプツィーザープルテスト、ワイヤプル・シェアテストがあります。

高精度・高速な自動測定機能

Condor Sigmaボンドテスターのステージ制御にはリニアエンコーダーが採用されており、競合他社製品を追随を許さない正確なステージ制御を実現しております。

Condor Sigma W12 sideview
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最大50mm/secの高速ステージ稼働速度により、12インチウェハでも短時間でウェア全域を移動可能。安全機構により、サンプル表面にツールが接近すると速度が自動的にスローダウンしますので、接触によるセンサー(ロードセル)やサンプル破損への予防対策も万全です。ウェハマップのインポートに対応しており、自動測定プログラムの作成も最小限の時間で対応します。オプションとして、バーコードリーダー、SPCシステムへのデータ送信にも対応致します。

自動ウェハロード/アンロードにも対応

Sigma W12は、スタンドアローン運用時にはオペレータのマニュアル操作によるウェハのロード・アンロードが必要ですが、ウェハローダー・アンローダーとの接続による運用も可能。オプションのロータリーウェハテーブルにより、ウェアのΘ位置出しにも対応。

破断面撮影機能

オプションのカメラにより、破断面の高画素撮影にも対応。自動測定実施時には撮影も自動的に実施されます。

Condor Sigma W12 Blower and Vacuum
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ブロアー・バキュームクリーニング機能

オプションのサンプル破片クリーニング機能により、テスト実施時に発生するはんだバンプ、金バンプ、ワイヤ等の破片を除去可能。破片が測定に影響が出ないようにように、圧縮空気で破片を吹き飛ばしたり、バキューム機構で破片を吸着します。

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