Cavity shear

  • 테스트 결과값 증가
  • Ball 변형 최소화
  • 본드 강도에 영향을 미치는 인자 최소화
  • 센서 정확도는 ±0.075%
  • Shear height 를 증가하여도 테스트가 가능

Ultra Fine Pitch Gold Balls 테스트

Standard shear versus cavity shear
Standard shear versus cavity shear

Cavity Shear tool은 semi-cylindrical cavity 형상이며, 큰 표면적을 가진 볼에 대해 전단응력을 가하는 구조로 되어 있습니다. 이렇게 하면 볼 변형을 줄이며, test 결과값을 증가시킵니다. 비록 테스트 결과값이 증가할지라도, IMC Bond 파괴를 촉진합니다. 이것은 볼이 점진적으로 변형되는 것이 아니고, 표준 전단 Tool보다 더 큰 전단 응력이 집중되기 때문입니다. Gold의 전단 강도 보다는 bond strength 에 대한 더 많은 데이터를 얻을 수 있습니다.

Ultra Fine Pitch에서 shear height에 제한이 있는 비활성층(passivation layer) 은 bond 의 윗부분을 cut 하여 낮은 결과값을 가지는 원인이 됩니다. Cavity Shear 는 볼의 전 부분에 테스트 응력을 가함으로써 이런 영향을 최소화 합니다. 이러한 Cavity Shear 는 Solder Ball 적용에서도 같은 효과를 나타냅니다.


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