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Sigma W8

晶圓
推拉力測試機

Sigma W8

晶圓級推拉力測試機

針對4 – 8 吋 晶圓的推拉力測試機

  • 適用於4-8吋晶圓(最大200mm)
  • 全自動晶圓級焊點測試機
  • X/Y 平台 X: 370 mm, Y: 370 mm
  • 力矩 1 gf – 10 kgf
  • 晶粒間矩小至50µm
Sigma automation

全自動

Sigma 焊點測試機的模組化設計,具備改變遊戲規則的自動化能力,自動取片與放片, 自動測試和結果分析, 可旋轉測試模組(RMU)最多可搭載6個感測器以滿足連續性的測試,軟體包括視覺和深度學習技術可免除人為因素錯誤。

Wafer loader W8 1

晶圓傳送

Sigma W8 和獨立的晶圓傳送機整合,以達到全自動傳送晶圓, 自動從原片盒中取片後,自動對位並放置在測試機載台上進行測試。

真空頂桿

此系統透過PID控制晶圓頂桿, 頂桿上的柔軟、具彈性的吸盤, 輕柔地固定平整或翹曲的晶圓。

Sigma W12 2022 grey 1

升级到Sigma W12

Sigma W8可升級為市場領先的Sigma W12測試機,可全自動測試12英寸(300mm)的晶圓。 Sigma W12配有600mm 的X 軸,最小可測試20μm晶粒。 這種升級可能, 確保Sigma W8成為一台永不過時的產品。

全自動

消除人為錯誤並節省生產成本。

處理程序

機器人處理可確保應用程式的安全裝載和卸載,並避免處理錯誤和損壞。我們提供以下處理程序:

  • 威化餅(EFEM)
  • 華夫餅托盤
  • 雜誌

輕鬆編程

開放式 Sigma 軟體可輕鬆對整個自動化步驟、位置和指令進行程式設計。自動化編輯器採用相機視覺化和智慧嚮導。

智慧型視覺相機

透過多達 3 個即時相機選項查看看不見的事物。使用高解析度相機、靈活的 LED 照明和出色的影像處理選項,透過影像或視訊展現感興趣的特徵。

工具對齊

精確的工具對準對於正確測試正確的黏合至關重要。我們提供多種完美對齊解決方案:

  • 自對準剪切工具
  • 深度存取
  • 旋轉測量單元
  • 同心度校正

基準識別

將可識別的形狀、圖案或標記定義為定位和自動工具對齊的全局或局部參考。

電線偵測

辨識因製程公差或零件處理而錯位的元件和細間距電線。

分級運行

Sigma 提供2 種替代方案,使分級更加高效和一致:

  • 操作員在完成分級後一步完成所有分級使用顯微鏡或膠印相機進行一系列測試。
  • Sigma 可以更進一步,自動確定故障模式(自動分級)。

自動評分

在分級輔助下自動對測試結果影像的故障模式進行分級。光學檢查計算剩餘散裝材料面積佔整體的百分比。

影像測量(AOI)

詳細的光學檢查可協助您執行影像測量或識別捕獲的測試結果的故障模式。對於更高級的影像處理、濾鏡、分割和形狀檢測,您可以使用自動光學檢測 (AOI)。

資料匯出

使用自動匯出和 SECS/GEM 進行追蹤和控制來改進資料處理。

IMG 3865

不再需要
手動更換模組

旋轉測量單元 (RMU) 可容納多達 6 個靈活傳感器,可配合各種拉拔、剝離、推壓或剪切工具進行測試,可連續進行高達 200 kgf 的測試。

IMG 3865

不再需要
手動更換模組

旋轉測量單元 (RMU) 可容納多達 6 個靈活的感測器,可與各種拉拔、剝離、推壓或剪切工具進行配置,以實現高達 200 kgf 的連續測試。

奈米級推力高度控制

納米控制剪切感測器具有獨特的驅動系統,位於剪切感測器體內部的封閉控制迴路。在測試晶圓等關鍵應用時,能夠以 200 奈米的精確度提高剪切高度的準確性和穩定性。

Nano control shear sensor SMU
Tools

控制對齊

多種測試方式,需使用不同的測試工具。除了一系列標準的拉拔、剝離、推壓或剪切工具,我們還設計定制解決方案以滿足所有測試需求。

夾爪

您可以控制鑷子的夾持力和開合位置。有 3 種鑷子可供選擇:
  •  電動式(USB)
  •  機械式
  • 氣動式

控制對齊

多種測試方式,需使用不同的測試工具。除了一系列標準的拉拔、剝離、推壓或剪切工具外,我們還設計定制解決方案,滿足所有測試需求。
Tools Top
Tools Bottom

夾爪

您可以控制鑷子的夾持力和開合位置。有 3 種鑷子可供選擇:
  • 電動式(USB)
  • 機械式
  • 氣動式
Tools Bottom
Tools

也適合你的樣品

  • 最大化生產效: 各種選擇和定制夾持解決方案
  • 最大化您的吞吐量: 高速運動軸、直驅馬達、線性編碼器
  • 精確對位: 穩固鎖定保持可重複位置
Hands
Hands
Hands

也適合你的樣品

  • 最大化生產效率
  • 最大化您的吞吐量
  • 精確對位
  • 多種選擇和客製化的夾緊解決方案
  • 高軸速度、直驅馬達、線性編碼器
  • 安全鎖定保持可重複性定位
Machine 2
sigma nadine@3x Grey

設定簡易的樂趣

  • 輕鬆取得樣品
  • 靈活的LED 照明選項
  • 專為操作員設計
  • 可調式顯微鏡
  • 無壓力的工作條件
img 3366@3x

每個人都易於使用

  • 靈活的機載統計製程控制(SPC) 分析
  • 用於SPC 管理的獨特表單功能
  • 軟體具有簡單和專家模式
  • 控製圖和即時力圖
  • 靈活的匯出和SECS/GEM
Machine
sigma w 12 heated stage v@3x Grey

模組化設計

  • 客製化工具和工件夾具
  • 運營商免費加載選項
  • 強大的相機選項
Machine 2

很高興
設置

  • 輕鬆取得樣品
  • 靈活的LED 照明選項
  • 專為操作員設計
  • 可調式顯微鏡
  • 無壓力的工作條件
SPC screen

易於使用
適合所有人

  • 靈活的機載統計製程控制(SPC) 分析
  • 用於SPC 管理的獨特表單功能
  • 軟體具有簡單和專家模式
  • 控製圖和即時力圖
  • 靈活的匯出和SECS/GEM
Machine


模組化設計

  • 客製化工具和工件夾具
  • 運營商免費加載選項
  • 強大的相機選項

Sigma W8 規格

STAGESSIGMA W8
X-stage (mm)370
Y-stage (mm)370
Z-stage (mm)168
Axis speed (mm/s)50
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm)30
Digital temperature correctionStandard
ACCURACY
Accuracy (%)0.075
ADC resolution (bit)24
Sampling frequency (kHz)10
Shear height (step back) accuracy ±1 μmStandard
Programmable landing force down to 5 gfStandard
MECHANICAL
Footprint X (mm)620
Footprint Y (mm)935
Height (mm)608
Weight (± kg)100

針對貴公司的需求,請聯絡我們以取得更多的資訊和選配. 規格如有任何變動, 請恕無法即時通知.

   標準

   選配

  不適用

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