Sigma W8

Wafer
Bond Tester

Sigma W8

Wafer bond tester

Bond Tester für Wafer 4 - 8 Zoll

  • Wafers oder auf Waferebene 4 – 8 Zoll (up to 200 mm)
  • Vollautomatischer Wafer Bond Tester
  • X/Y Achsen X: 370 mm, Y: 370 mm
  • Kraftbreiche von 1 gf – 10 kgf
  • Bump pitch bis zu 50 µm

Vollautomatisierung

Der Sigma Bond-Tester ist modular aufgebaut und verfügt über bahnbrechende Automatisierungsfunktionen zum automatischen Laden, Testen und Analysieren. Die rotierende Messeinheit (RMU) beherbergt bis zu 6 Sensoren, die eine kontinuierliche Prüfung ermöglichen. Die Software umfasst Vision- und Deep-Learning-Technologie, um menschliche Fehler zu eliminieren.

Sigma-W8-loaden

Wafer loader

Integrieren Sie die Sigma W8 mit einem unabhängigen Wafer-(Ent-)Loader für Vollautomatische Bondtests. Der Wafer-Handler lädt die Wafer automatisch, richtet sie aus und überträgt sie von der Kassette auf den Bondtester.

Lift pins

Das System sichert flache und verzogene Wafer sanft mit den weichen, flexiblen Spitzen an den PID-gesteuerten Wafer-Liftpins.

Auf die Sigma W12 upgraden

Die Sigma W8 ist aufrüstbar zum marktführenden Bondtester Sigma W12. Es können Wafer bis zu 12 Zoll (300 mm) vollautomatisch getestet werden. Die Sigma W12 wird mit einem 600-mm-X-Tisch geliefert, um Unebenheiten bis zu 20 µm zu testen. Die Upgrade-Möglichkeit macht die Sigma W8 zu einer zukunftssicheren Investition.

Spezifikationen Sigma W8

STAGESSIGMA W8
X-stage (mm)370
Y-stage (mm)370
Z-stage (mm)168
Axis speed (mm/s)50
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm)30
Digital temperature correctionStandard
ACCURACY
Accuracy (%)0.075
ADC resolution (bit)24
Sampling frequency (kHz)10
Shear height (step back) accuracy ±1 μmStandard
Programmable landing force down to 5 gfStandard
MECHANICAL
Footprint X (mm)620
Footprint Y (mm)935
Height (mm)608
Weight (± kg)100

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen und Optionen für Ihr Unternehmen. Technische Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden.

Standard
Optional
Nicht verfügbar

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Dirk Schade