Sigma W8

Wafer
bond tester

Sigma W8

Wafer bond tester

Bond Tester für Wafer 4 - 8 Zoll

  • Wafers oder auf Waferebene 4 – 8 Zoll (up to 200 mm)
  • Vollautomatischer Wafer Bond Tester
  • X/Y Achsen X: 370 mm, Y: 370 mm
  • Kraftbreiche von 1 gf – 10 kgf
  • Bump pitch bis zu 50 µm
Sigma automation

Vollautomatisierung

Der Sigma Bond-Tester ist modular aufgebaut und verfügt über bahnbrechende Automatisierungsfunktionen zum automatischen Laden, Testen und Analysieren. Die rotierende Messeinheit (RMU) beherbergt bis zu 6 Sensoren, die eine kontinuierliche Prüfung ermöglichen. Die Software umfasst Vision- und Deep-Learning-Technologie, um menschliche Fehler zu eliminieren.

Wafer loader W8 1

Wafer loader

Integrieren Sie die Sigma W8 mit einem unabhängigen Wafer-(Ent-)Loader für Vollautomatische Bondtests. Der Wafer-Handler lädt die Wafer automatisch, richtet sie aus und überträgt sie von der Kassette auf den Bondtester.

Lift pins

Das System sichert flache und verzogene Wafer sanft mit den weichen, flexiblen Spitzen an den PID-gesteuerten Wafer-Liftpins.

Sigma W12 2022 grey 1

Auf die Sigma W12 upgraden

Die Sigma W8 ist aufrüstbar zum marktführenden Bondtester Sigma W12. Es können Wafer bis zu 12 Zoll (300 mm) vollautomatisch getestet werden. Die Sigma W12 wird mit einem 600-mm-X-Tisch geliefert, um Unebenheiten bis zu 20 µm zu testen. Die Upgrade-Möglichkeit macht die Sigma W8 zu einer zukunftssicheren Investition.

Vollautomatisierung

Beseitigen Sie menschliche Fehler und sparen Sie Produktionskosten.

Handler

Roboterhandhabung sorgt für sicheres Laden und Entladen von Anwendungen und vermeidet Handhabungsfehler und Schäden. Wir bieten Handler für:

  • Waffeln (EFEM)
  • Waffeltabletts
  • Magazine

Einfache Programmierung

Die offene Sigma-Software ermöglicht eine einfache Programmierung der gesamten Automatisierungsschritte, Positionen und Befehle. Der Automatisierungseditor nutzt Kameravisualisierung und intelligente Assistenten.

Smart Vision-Kameras

Sehen Sie das Unsichtbare mit bis zu 3 Live-Kameraoptionen. Heben Sie mit Bildern oder Videos mithilfe hochauflösender Kameras, flexibler LED-Beleuchtung und fantastischer Bildverarbeitungsoptionen die interessanten Funktionen hervor.

Werkzeugausrichtung

Um die richtigen Verbindungen richtig zu testen, ist eine präzise Werkzeugausrichtung unerlässlich. Wir bieten verschiedene Lösungen für die perfekte Ausrichtung:

  • Selbstausrichtendes Scherwerkzeug
  • Umfassender Zugriff
  • Rotierende Messeinheit
  • Konzentrizitätskorrektur

Referenzerkennung

Definieren Sie erkennbare Formen, Muster oder Markierungen als globale oder lokale Referenz für die Positionierung und automatische Werkzeugausrichtung.

Drahterkennung

Erkennung von Komponenten und Fine-Pitch-Drähten, die aufgrund von Prozesstoleranzen oder Teilehandhabung aus der Position geraten.

Grading run

A Sigma offers 2 alternatives to make grading more efficient and consistent:

  • The operator does all the gradings in one step after a sequence of tests, using the microscope or an offset camera.
  • A Sigma can take it one step further and make automatic determinations of the failure modes (auto grading).

Automatische Bewertung

Bewerten Sie die Fehlermodi der Testergebnisbilder automatisch mit Bewertungsunterstützung. Bei der optischen Inspektion wird der Anteil des verbleibenden Schüttgutanteils am Gesamtvolumen berechnet.

Bildmessung (AOI)

Eine detaillierte optische Inspektion hilft Ihnen, Bildmessungen durchzuführen oder die Fehlermodi der erfassten Testergebnisse zu identifizieren. Für eine erweiterte Bildverarbeitung, Filterung, Segmentierung und Erkennung von Formen können Sie die automatische optische Inspektion (AOI) verwenden.

Datenexport

Verbessern Sie die Datenverarbeitung durch automatischen Export und SECS/GEM zur Nachverfolgung und Kontrolle.

IMG 3865

Kein Wechseln von Einschüben

Die Revolving Measurement Unit (RMU) beherbergt bis zu 6 flexible Sensoren, die mit verschiedenen Zug-, Schäl-, Druck- oder Scherwerkzeugen konfiguriert werden können. Dies ermöglicht Dauertests bis zu 200 kgf.

IMG 3865

Kein Wechseln von Einschüben

Die Revolving Measurement Unit (RMU) beherbergt bis zu 6 flexible Sensoren, die mit verschiedenen Zug-, Schäl-, Druck- oder Scherwerkzeugen konfiguriert werden können. Dies ermöglicht Dauertests bis zu 200 kgf.

Nano-precise
shear height control

Der Nano-Control-Schersensor verfügt über einen einzigartigen Antrieb mit einem geschlossenen Regelkreis im Schersensorkörper. Es verbessert die Genauigkeit und Stabilität der Scherhöhe mit einer Präzision von 200 nm beim Testen kritischer Anwendungen wie Waferebene, Beschichtung und Leadframes.

Nano control shear sensor SMU
Tools

Kontrollieren Sie Ihre Ausrichtung

Mehrere Testmöglichkeiten erfordern unterschiedliche Testtools. Neben einer breiten Palette an Standard-Zug-, Schäl-, Druck- oder Scherwerkzeugen entwickeln wir maßgeschneiderte Lösungen, um alle Prüfanforderungen zu erfüllen.

Greifer

Sie können die Greifkraft sowie die Öffnungs- und Schließposition steuern. Es stehen 3 Arten von Pinzetten zur Auswahl:
  • Elektrisch (USB)
  • Mechanisch
  • Pneumatisch

Kontrollieren Sie Ihre Ausrichtung

Mehrere Testmöglichkeiten erfordern unterschiedliche Testtools. Neben einer breiten Palette an Standard-Zug-, Schäl-, Druck- oder Scherwerkzeugen entwickeln wir maßgeschneiderte Lösungen, um alle Prüfanforderungen zu erfüllen.
Tools Top
Tools Bottom

Greifer

Sie können die Greifkraft sowie die Öffnungs- und Schließposition steuern. Es stehen 3 Arten von Pinzetten zur Auswahl:
  • Elektrisch (USB)
  • Mechanisch
  • Pneumatisch
Tools Bottom
Tools

Ihre Probe passt auch!

  • Schnellwechsel-Werkstückhalter: Große Auswahl und maßgeschneiderte Spannlösungen
  • Maximieren Sie Ihren Durchsatz: Hohe Achsgeschwindigkeit, Direktantriebsmotor, lineare Encoder
  • Genaue Ausrichtung: Sichere Verriegelung sorgt für reproduzierbare Ergebnisse Positionierung
Hands
Hands
Hands

Ihre Probe passt auch!

  • Schnellwechsel-Werkstückhalter
  • Maximieren Sie Ihren Durchsatz
  • Genaue Ausrichtung
  • Große Auswahl und maßgeschneiderte Spannlösungen
  • Hohe Achsgeschwindigkeit, Direktantriebsmotor, lineare Encoder
  • Sichere Verriegelung sorgt für reproduzierbare Wartung Positionierung
Machine 2
sigma nadine@3x Grey

Ein Vergnügen einzurichten

  • Einfacher Probenzugang
  • Flexible LED-Beleuchtungsoptionen
  • Entwickelt für den Bediener
  • Einstellbares Mikroskop
  • Keine stressigen Arbeitsbedingungen
img 3366@3x

Einfach zu bedienen für jedermann

  • Flexible integrierte SPC-Analyse (Statistical Process Control)
  • Einzigartige Formularfunktionen für die SPC-Verwaltung
  • Software verfügt über einen einfachen und einen Expertenmodus</ li>
  • Kontrolldiagramm und Echtzeit-Kraftdiagramme
  • Flexibler Export und SECS/GEM
Machine
sigma w 12 heated stage v@3x Grey

Modulares Design

  • Maßgeschneiderte Werkzeuge und Werkstückhalter
  • Kostenlose Ladeoptionen für den Betreiber
  • Leistungsstarke Kameraoptionen
Machine 2

Es macht Freude,
einzurichten

  • Einfacher Probenzugang
  • Flexible LED-Beleuchtungsoptionen
  • Entwickelt für den Bediener
  • Einstellbares Mikroskop
  • Keine stressigen Arbeitsbedingungen
SPC screen

Einfach zu bedienen
für jedermann

  • Flexible integrierte SPC-Analyse (Statistical Process Control)
  • Einzigartige Formularfunktionen für die SPC-Verwaltung
  • Software verfügt über einen einfachen und einen Expertenmodus</ li>
  • Kontrolldiagramm und Echtzeit-Kraftdiagramme
  • Flexibler Export und SECS/GEM
Machine

Modular von
design

  • Maßgeschneiderte Werkzeuge und Werkstückhalter
  • Kostenlose Ladeoptionen für den Betreiber
  • Leistungsstarke Kameraoptionen

Spezifikationen Sigma W18

STAGESSIGMA W8
X-stage (mm)370
Y-stage (mm)370
Z-stage (mm)168
Axis speed (mm/s)50
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm)30
Digital temperature correctionStandard
ACCURACY
Accuracy (%)0.075
ADC resolution (bit)24
Sampling frequency (kHz)10
Shear height (step back) accuracy ±1 μmStandard
Programmable landing force down to 5 gfStandard
MECHANICAL
Footprint X (mm)620
Footprint Y (mm)935
Height (mm)608
Weight (± kg)100

Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen und Optionen für Ihr Unternehmen. Technische Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden.

   Standard
   Optional
   Nicht verfügbar

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Dirk Schade