Automatisierung

Beseitigen Sie menschliches Versagen

Händler

Die Roboterhandhabung gewährleistet ein sicheres Be- und Entladen von Anwendungen und vermeidet Handhabungsfehler und -schäden. Wir bieten Händler für:

Wafers (EFEM)
Waffle Trays
Magazine

Einfache Programmierung

Die offene Sigma-Software ermöglicht die einfache Programmierung von Schritten, Positionen und Befehlen der gesamten Automatisierung. Der Automatisierungseditor verwendet Kameravisualisierung und intelligente Assistenten.

Wafer map Import
Matrixauswahl

Smart vision

Sehen Sie das Unsichtbare mit bis zu 3 Live-Kameraoptionen. Bringen Sie die interessanten Funktionen mit Bildern oder Videos mithilfe hochauflösender Kameras, flexibler LED-Beleuchtung und fantastischer Bildverarbeitungsoptionen zur Geltung. Gut aufgenommene Bilder können die Eingabe für die automatische Bewertung sein.

Mehrere Kameras
Bildverarbeitung
Optische 3D Funktion

Toolausrichtung

Eine genaue Toolausrichtung ist wichtig, um die richtigen Verbindungen korrekt zu testen. Durch die Konzentrizitätskorrektur werden Werkzeugexzentrizitäten von weniger als 5 µm erreicht, und einzigartige Werkzeugkonstruktionen können beim Ausrichten hilfreich sein. Wir bieten Lösungen in kundenspezifischen Hakenfußlängen oder einem selbstausrichtenden Scherwerkzeug an, das winzige, aber wichtige Winkeldifferenzen zwischen Werkzeug und Probe korrigiert. Mit der Kamera und den Deep Access-Tools können Sie komplexe Musterarchitekturen testen. Wechseln Sie mit unserer einzigartigen rotierenden 6-in-1-Testkopf-RMU innerhalb von Sekunden zwischen verschiedenen Sensoren bzw. Werkzeugen.

Referenzmarkenerkennung

Definieren Sie erkennbare Formen, Muster oder Markierungen als globale oder lokale Referenz für die Positionierung und automatische Toolausrichtung.

Stellen Sie sicher, dass Ihre Probe in der richtigen Position ist, um die richtigen Bindungen zu testen. Referenzmarken helfen bei der Korrektur von Verschiebungen. Mit der Kameravisualisierung ist es einfach, erkennbare Formen, Muster oder Markierungen als globale oder lokale Referenz zu definieren.

Drahterkennung

Erkennung von Bauteilen und Fine Pitch Drähten, die aufgrund von Prozesstoleranzen oder Teilehandhabung aus der Position geraten.

Lehren Sie die genaue Position zwischen der ersten und zweiten Verbindung mithilfe der Kameravisualisierung und des AOI-Editors. Korrigieren Sie einfach fehlende Kabel oder Erkennungsprobleme während des Automatisierungszyklus oder danach über umfangreiche Berichte.

Bruchkodelauf

Traditionell führen die Bediener die Bruchkodierung nach jedem Test durch. Das Sigma bietet zwei Alternativen, um diesen Prozess effizienter und konsistenter zu gestalten.

Der Bediener führt alle Bruchkodes in einem Schritt nach einer Reihe von Tests mit dem Mikroskop oder einer Offsetkamera durch.
Ein Sigma kann noch einen Schritt weiter gehen und die Fehlermodi automatisch bestimmen (automatische Einstufung).

Automatischer Bruchkode

Viele führende Hersteller bewerten automatisch die Fehlermodi der Testergebnisbilder. Für die Ballscherung berechnen intelligente optische Inspektionsalgorithmen den Prozentsatz des verbleibenden Bindungsmaterials im interessierenden Bereich und identifizieren den Fehlermodus mithilfe von Klassifizierungen. Sie können auch andere Arten von Bondfehlern automatisch bewerten.

Bediener müssen keine Bewertungen erfüllen, indem sie die Fehlermodi am Ende eines Automatisierungslaufs akzeptieren oder bearbeiten. Mit Deep Learning und der erweiterten Halcon-Bibliothek trainieren wir ein neuronales Netzwerk, um die Bildverarbeitung für Sie durchzuführen. Durch vorherige Klassifizierung der Fehlermoduskriterien kann die Bilderkennung ohne Unterstützung eine automatische Bewertung durchführen.

Bildmessung (AOI)

Messen Sie schnell manuell in aufgenommenen Bildern, indem Sie Linien oder Formen (Rechtecke, Ellipsen) zeichnen und messen:

Entfernungen
Längen
Breiten
Höhen
Flächen

Für eine erweiterte Bildverarbeitung, Filterung, Segmentierung und Erkennung von Formen können Sie die automatische optische Inspektion (AOI) verwenden. Mit AOI können Sie Testergebnisse untersuchen und Merkmale zwischen Objekten und Winkeln messen.

Datenkommunikation

Speichern Sie die Berichte nach mehreren Messungen automatisch. Der Editor unterstützt den Export in Dateien, serielle Schnittstellen, Zwischenablagen und andere Protokolle wie SECS / GEM.

Zwischen Systemen teilen

Teilen Sie Testeinstellungen und Daten zwischen Maschinen
Zentralisierte Sicherung
Speicherkapazität
Historische Informationsaufzeichnungen
Datenintegrität

SECS/GEM

SECS / GEM ist ein Geräteschnittstellenprotokoll für die Datenkommunikation von Gerät zu Host in der Halbleiterindustrie. Mehrere xyztec Kunden verwenden die bidirektionale SECS / GEM-Funktion des Sigma für Testergebnisse, Bilder, Rezepte und andere Daten.