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Sigma MAG

マガジンハンドラー

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リードフレーム製品の自動測定に最適なマガジンハンドラー

Sigma MAGはリードフレーム・基板製品のマガジンからのロード/アンロードに対応するモデルです。ハンドラーはオプションでOHT、AGVに対応。下記製品に対応します：
  • リードフレーム
  • ウェハカセット
  • マガジン
  • PCB
  • フレキ基板
  • ボート

任意のスロット、デバイスの選択

自動測定プログラムは、製品上の測定場所も任意指定可能
  • 指定した行／列の測定
  • 特定の行/列、またはランダムな場所を測定
  • SECS/GEM通信による情報に基づく測定場所の指定（オプション）
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自動幅調整機構

Sigma MAGモデルのX軸可動範囲は600mm。最大100 x 240mmのリードフレームに対応します。 オプションで自動幅可変機構も搭載可能。
カメラ1台仕様の場合、最大300 mm に対応


ワッフルトレーローダー（ピック＆プレース機構）

作業者の介入なしに、ワッフルトレイサンプルを自動測定可能です。ワッフルトレイハンドラーとの連結も対応します。

SEMI S2準拠のキャビネットをオプションで用意しております

オプションの安全キャビネットにより、自動測定中の駆動部から作業者を守ります。安全性・エルゴノミクス性でSEMI S2に準拠。破壊試験により発生する残渣・ゴミの飛散の防止にも有効です。
  • 半透明カバーにより外部照明が画像認識に及ぼす影響を最小限に抑えます。
  • 外部コントローラーによりキャビネットドアが閉じている際にも操作可能。
  • ジョイスティック、キーボード、マウスは引き出し部に設置、いつでも操作可能
  • AGV または OHTからの搬送にも対応（オプション）
  • CE、TÜV 準拠
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による強度測定の自動生産ライン対応

Sigma MAG自動ボンドテスターは、ロードポートとの接続により最大100x240mmのマガジンローディングに対応。SEMI E84規格の通信により、オペレーター介入が不要な、自動マガジンローディング対応します。
  • OHT対応
  • AGV対応
  • オペレータによるマニュアルハンドリングも可能

 

マガジンバッファーにより 複数のマガジンを滞留可能。マガジン供給によるダウンタイムを最小限に抑えることで測定作業効率を最大化します。

SEMI S2/S8、GEM 300 準拠

Sigma MAG等に連結されるロードポートには、SEMI S2/S8準拠の安全カバー対応。ロードポート前面にはライトカーテンを標準装備し、作業者の安全が確保されております。
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Sigma MAG 仕様

STAGESSIGMA MAG
X-stage (mm)600
Y-stage (mm)168
Z-stage (mm)168
Axis speed (mm/s)50
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm)30
Digital temperature correctionStandard
ACCURACY
Accuracy (%)0.075
ADC resolution (bit)24
Sampling frequency (kHz)10
Shear height (step back) accuracy ±1 μmStandard
Programmable landing force down to 5 gfStandard
MECHANICAL
Footprint X (mm)1800
Footprint Y (mm)900
Height (mm)1100
Weight (± kg)160
詳しくは販売代理店までお問い合わせください。仕様は予告なく変更されることがございます。

   標準仕様
   オプション
   非対応
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Herbert Stuermann