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シェアセンサー本体にクローズドループ制御のドライブ機構を採用したナノレベル高さ制御ユニットを搭載。200nmの高精度かつ高い繰返精度を実現したシェア高さ制御によりに 、これまで安定した測定が困難だったウェハレベル、薄膜、リードフレームでのより高精度なシェア測定を実現します。
オプションのハンドラーにより、サンプルの自動ロード・アンロードに対応します。ウェハ、リードフレーム等に対応する下記オプションがございます。
プル・シェア等の異なる測定種類や、細線・太線用の異なる測定レンジを組み合わせたプログラムを作成可能。回転式測定ヘッドを採用しているCondor Sigmaの強みです。画像処理オプションにより、高度な自動測定・自動寸法測定に対応します。
最大3台のカメラに対応。画像処理、測定中のライブ映像、測定後のサンプルの記録に対応。オフラインの顕微鏡・カメラのよる作業が不要になります。
正確な測定結果を得るには、ツールをサンプルに対して正しく位置合わせを実施することが極めて重要です。
画像認識オプションを追加することで、各種パターン・形状の認識に対応します。
ワイヤ検出機能では、プロセス異常やサンプルのハンドリングによりワイヤが変形した場合には自動測定を中止したりそのワイヤの測定をスキップします。
破壊モードの入力は、以下のいずれかの方法で対応
はんだボールのシェア等の一部の測定では自動破壊モード判定に対応。画像処理機能により界面状態を判定し、はんだ残り量を％で自動判定・記録
オプションの画像処理機能では自動寸法測定にも対応。荷重データと連動し寸法測定の結果を保存可能。
自動データエクスポート機能を標準装備。オプションでSECS/GEMにも対応。
接合強度試験の世界へようこそ。弊社のナレッジセンターには、お客様の知りたい接合強度試験に関する情報がございます。測定規格、測定条件の設定、その他アドバイスをご覧頂けます。
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