360° 回転測定ヘッドに、最大5個のビジョンカメラを搭載可能。ツール位置合わせや自動測定ティーチングも容易に実施。
大型サンプルをカバーするためステージは高速移動します。そのため、通常のボンドテスターと異なり安全キャビネットが標準仕様となります。 ツールの位置合わせはカメラ画像にて行います。SEMI S2に準拠しており、ユーザーの作業性も考慮され設計されております。
シグナルタワー標準装備。装置の稼動状況を一目で確認することが出来ます。シグナルタワーの動作は任意設定可能です。
車載バッテリーモジュール等の大型サンプルの測定に対応。 貴社バッテリーモジュールに最適なワークホルダをカスタム設計対応致します。
| STAGES | SIGMA HF |
|---|---|
| X-stage (mm) | 500 |
| Y-stage (mm) | 500 |
| Z-stage (mm) | 200 |
| Axis speed (mm/s) | 500 |
| Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm) | 10 |
| Digital temperature correction |  |
| ACCURACY | |
| Accuracy (%) | 1 |
| ADC resolution (bit) | 24 |
| Sampling frequency (kHz) | 10 |
| Shear height (step back) accuracy ±1 μm | |
| Programmable landing force down to 5 gf |  |
| MECHANICAL | |
| Footprint X (mm) | 1200 |
| Footprint Y (mm) | 1200 |
| Height (mm) | 2500 |
| Weight (± kg) | 1350 |
製品の詳細については弊社までお問い合わせください。各仕様は製品改善等のため予告なく変更されることがあります。ご了承ください。
標準仕様
オプション
非対応
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Herbert Stuermann