Sigma MAGはリードフレーム・基板製品のマガジンからのロード/アンロードに対応するモデルです。ハンドラーはオプションでOHT、AGVに対応。下記製品に対応します：
Sigma MAGモデルのX軸可動範囲は600mm。最大100 x 240mmのリードフレームに対応します。 オプションで自動幅可変機構も搭載可能。
作業者の介入なしに、ワッフルトレイサンプルを自動測定可能です。ワッフルトレイハンドラーとの連結も対応します。
オプションの安全キャビネットにより、自動測定中の駆動部から作業者を守ります。安全性・エルゴノミクス性でSEMI S2に準拠。破壊試験により発生する残渣・ゴミの飛散の防止にも有効です。
Sigma MAG自動ボンドテスターは、ロードポートとの接続により最大100x240mmのマガジンローディングに対応。SEMI E84規格の通信により、オペレーター介入が不要な、自動マガジンローディング対応します。
マガジンバッファーにより 複数のマガジンを滞留可能。マガジン供給によるダウンタイムを最小限に抑えることで測定作業効率を最大化します。
Sigma MAG等に連結されるロードポートには、SEMI S2/S8準拠の安全カバー対応。ロードポート前面にはライトカーテンを標準装備し、作業者の安全が確保されております。
人的エラーを排除し、生産コストを節約します。
ロボットによるハンドリングにより、アプリケーションの安全なロードとアンロードが保証され、ハンドリングエラーや損傷が回避されます。以下のハンドラーを提供しています。
オープン Sigma ソフトウェアを使用すると、トータルオートメーションのステップ、位置、コマンドを簡単にプログラミングできます。オートメーション エディターは、カメラの視覚化とインテリジェントなウィザードを採用しています。
最大 3 つのライブ カメラ オプションを使用して、見えないものを確認します。高解像度カメラ、柔軟な LED 照明、素晴らしい画像処理オプションを使用して、画像やビデオで興味のある特徴を引き出します。
正しい結合を正しくテストするには、正確なツールの位置合わせが不可欠です。完璧な位置合わせを実現するためのいくつかのソリューションを提供しています。
認識可能な形状、パターン、またはマークを、位置決めおよび自動ツール位置合わせのためのグローバルまたはローカルの基準として定義します。
プロセス公差や部品の取り扱いによって位置がずれるコンポーネントとファインピッチ ワイヤを認識します。
A Sigma は、採点をより効率的かつ一貫性のあるものにするための 2 つの選択肢を提供します。
グレーディング支援を使用して、テスト結果画像の故障モードを自動的にグレーディングします。光学検査では、残っているバルク材料の面積が全体に占める割合として計算されます。
詳細な光学検査は、画像測定を実行したり、取得したテスト結果の故障モードを特定したりするのに役立ちます。より高度な画像処理、フィルタリング、セグメンテーション、および形状の検出には、自動光学検査 (AOI) を使用できます。
追跡と制御のための自動エクスポートと SECS/GEM を使用してデータ処理を改善します。
回転測定ユニット (RMU) には、さまざまなプル、ピール、プッシュ、またはせん断ツールで構成可能な最大 6 つの柔軟なセンサーが収納されています。これにより、最大 200 kgf までの連続テストが可能になります。
回転測定ユニット (RMU) には、さまざまなプル、ピール、プッシュ、またはせん断ツールで構成可能な最大 6 つの柔軟なセンサーが収納されています。これにより、最大 200 kgf までの連続テストが可能になります。
ナノ制御せん断センサーは、せん断センサー本体内に閉制御ループを備えた独自のドライブを備えています。これにより、ウェハレベル、コーティング、リードフレームなどの重要なアプリケーションをテストする際に、せん断高さの精度と安定性が 200 nm の精度で向上します。
| STAGES | SIGMA MAG |
|---|---|
| X-stage (mm) | 600 |
| Y-stage (mm) | 168 |
| Z-stage (mm) | 168 |
| Axis speed (mm/s) | 50 |
| Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm) | 30 |
| Digital temperature correction |  |
| ACCURACY | |
| Accuracy (%) | 0.075 |
| ADC resolution (bit) | 24 |
| Sampling frequency (kHz) | 10 |
| Shear height (step back) accuracy ±1 μm | |
| Programmable landing force down to 5 gf | |
| MECHANICAL | |
| Footprint X (mm) | 1800 |
| Footprint Y (mm) | 900 |
| Height (mm) | 1100 |
| Weight (± kg) | 160 |
詳しくは販売代理店までお問い合わせください。仕様は予告なく変更されることがございます。 
標準仕様
オプション
非対応
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Herbert Stuermann
