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PID制御のリフトピンにより、様々な状態のウェハを適切にハンドリングします。ローディング、クランプ、アンローディングの全てのシーケンスにおいてピンの座標をモニタリングし、真空を最適な状態で制御します。
反りの大きなウェハ用に、ウェハをチャックに吸着させるプッシャーユニットをオプションでご用意しました。高い吸引力によりウェハをしっかりと吸着します。
測定で発生するはんだボール残渣を除去するブロアー／バキュームユニット、ウェハチャック上にゴミを除去するクリーナーローラー等のオプションも充実。
最大300mmのウェハ等に対応する真空チャック式ワークホルダ。XYステージの広範囲可動範囲により、サンプルの全域を測定可能。
KLARF, (S)INF, G85 等のウェハマップファイルのインポートに対応。測定対象のバンプや不良個所を把握し速やかに測定を実施可能です。
不良バンプの除去にも対応。ウェハマップからの不良バンプの座標情報を元に、不良バンプまでシェアツールを自動的に移動。
ウェハバンプのツィーザープルテスト（CBP）用の爪（チップ）のキャビティには、測定を重ねるごとにはんだ等の残渣が蓄積し正常な測定を阻害します。オプションのチップキャビティクリーナーは、高温のエアーによりはんだを溶融し除去します。
作業者による測定ミスを排除し、測定精度の向上・コスト削減に貢献
オプションのハンドラーにより、サンプルの自動ロード・アンロードに対応します。ウェハ、リードフレーム等に対応する下記オプションがございます。
プル・シェア等の異なる測定種類や、細線・太線用の異なる測定レンジを組み合わせたプログラムを作成可能。回転式測定ヘッドを採用しているCondor Sigmaの強みです。画像処理オプションにより、高度な自動測定・自動寸法測定に対応します。
最大3台のカメラに対応。画像処理、測定中のライブ映像、測定後のサンプルの記録に対応。オフラインの顕微鏡・カメラのよる作業が不要になります。
正確な測定結果を得るには、ツールをサンプルに対して正しく位置合わせを実施することが極めて重要です。
画像認識オプションを追加することで、各種パターン・形状の認識に対応します。
ワイヤ検出機能では、プロセス異常やサンプルのハンドリングによりワイヤが変形した場合には自動測定を中止したりそのワイヤの測定をスキップします。
破壊モードの入力は、以下のいずれかの方法で対応
はんだボールのシェア等の一部の測定では自動破壊モード判定に対応。画像処理機能により界面状態を判定し、はんだ残り量を％で自動判定・記録
オプションの画像処理機能では自動寸法測定にも対応。荷重データと連動し寸法測定の結果を保存可能。
自動データエクスポート機能を標準装備。オプションでSECS/GEMにも対応。
回転式測定ヘッド (RMU) は最大6種類のセンサーを搭載可能。測定種類はプル/プッシュ、ピール、シェア、最大測定荷重200kgfの中から自由に選択可能です。
回転式測定ヘッド (RMU) は最大6種類のセンサーを搭載可能。測定種類はプル/プッシュ、ピール、シェア、最大測定荷重200kgfの中から自由に選択可能です。
測定用ツールは、豊富な標準品以外にも、お客様のご要求に合わせたカスタム設計品の提供も可能です。
ツィーザーユニットは3種類から選択。USB接続タイプは掴み荷重・先端爪の開放時/閉じ時の距離を設定可能です。
測定用ツールはカスタム設計品の提供も可能です。
ツィーザーユニットは3種類から選択。USB接続タイプは掴み荷重・先端爪の開放時/閉じ時の距離を設定可能です。
| STAGES | SIGMA W12 |
|---|---|
| X-stage (mm) | 500 |
| Y-stage (mm) | 370 |
| Z-stage (mm) | 90 |
| Axis speed (mm/s) | 50 |
| Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm) | 30 |
| Digital temperature correction |  |
| ACCURACY | |
| Accuracy (%) | 0.075 |
| ADC resolution (bit) | 24 |
| Sampling frequency (kHz) | 10 |
| Shear height (step back) accuracy ±1 μm | |
| Programmable landing force down to 5 gf | |
| MECHANICAL | |
| Footprint X (mm) | 1300 |
| Footprint Y (mm) | 935 |
| Height (mm) | 608 |
| Weight (± kg) | 100 |
詳しくは販売代理店までお問い合わせください。仕様は予告なく変更されることがございます。ご了承ください。
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オプション
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