Sigma HF/L

超高荷重
ラージワークエリア

Sigma HF/L
Sigma HF/L

Sigma HF/L

超高荷重/大型サンプル対応

業界唯一の超高荷重対応ボンドテスター

  • 最大1000kgf測定に対応。IGBT, パワーモジュール、バッテリーに最適
  • 高速稼働ステージ
  • ディープアクセス対応(80 mm)
  • SEMI S2 対応 保護カバー
超高荷重測定対応ヘッド

360°回転測定ヘッド

360° 回転測定ヘッドに、最大5個のビジョンカメラを搭載可能。ツール位置合わせや自動測定ティーチングも容易に実施。

Sigma-HF-L-Safety-Cabinet

保護カバー(キャビネット)

大型サンプルをカバーするためステージは高速移動します。そのため、通常のボンドテスターと異なり安全キャビネットが標準仕様となります。 ツールの位置合わせはカメラ画像にて行います。SEMI S2に準拠しており、ユーザーの作業性も考慮され設計されております。

Stacked light Balluff

Visual feedback

シグナルタワー標準装備。装置の稼動状況を一目で確認することが出来ます。シグナルタワーの動作は任意設定可能です。

Flexible-positioning-of-multiple-work-holders

様々なサイズのサンプルに柔軟に対応

モデルSigma Lは、車載バッテリーモジュール等の大型サンプルの測定に対応。  貴社バッテリーモジュールに最適なワークホルダをカスタム設計対応致します。 

オプション

  • 回転式測定ヘッド (RMU)装着可能
  • その他カスタム設計に柔軟に対応
Sigma-HF-L-with-extra-large-stage

自動測定

作業者による測定ミスを排除し、測定精度の向上・コスト削減に貢献

  • ハンドラー
  • ハンドラー
  • 高性能マシンビジョンカメラ
  • ツールの位置合わせ
  • 画像認識
  • ワイヤ検出機能
  • 破壊モード入力
  • 自動破壊モード入力
  • AOI
  • データエクスポート

ハンドラー

オプションのハンドラーにより、サンプルの自動ロード・アンロードに対応します。ウェハ、リードフレーム等に対応する下記オプションがございます。

  • ウェハ (EFEM対応)
  • ワッフルトレー
  • マガジン

プログラム作成

プル・シェア等の異なる測定種類や、細線・太線用の異なる測定レンジを組み合わせたプログラムを作成可能。回転式測定ヘッドを採用しているCondor Sigmaの強みです。画像処理オプションにより、高度な自動測定・自動寸法測定に対応します。

高性能マシンビジョンカメラ

最大3台のカメラに対応。画像処理、測定中のライブ映像、測定後のサンプルの記録に対応。オフラインの顕微鏡・カメラのよる作業が不要になります。

ツールの位置合わせ

正確な測定結果を得るには、ツールをサンプルに対して正しく位置合わせを実施することが極めて重要です。

  • セルフアライメントシェアツール
  • ディープアクセスに対応
  • 回転式測定ヘッド(RMU)
  • シェアツール/プルフック偏心補正機能

画像認識

画像認識オプションを追加することで、各種パターン・形状の認識に対応します。

ワイヤ検出機能

ワイヤ検出機能では、プロセス異常やサンプルのハンドリングによりワイヤが変形した場合には自動測定を中止したりそのワイヤの測定をスキップします。

破壊モード入力

破壊モードの入力は、以下のいずれかの方法で対応

  • 自動測定終了後に作業者が実体顕微鏡やオフセットカメラの映像からモードを判断し入力
  • 画像認識機能により自動モード判定(対応可能な測定の場合)

自動破壊モード入力

はんだボールのシェア等の一部の測定では自動破壊モード判定に対応。画像処理機能により界面状態を判定し、はんだ残り量を%で自動判定・記録

AOI

オプションの画像処理機能では自動寸法測定にも対応。荷重データと連動し寸法測定の結果を保存可能。

データエクスポート

自動データエクスポート機能を標準装備。オプションでSECS/GEMにも対応。

回転式測定ヘッド(RMU)

センサーカートリッジの
付け替え作業は不要

回転式測定ヘッド (RMU) は最大6種類のセンサーを搭載可能。測定種類はプル/プッシュ、ピール、シェア、最大測定荷重200kgfの中から自由に選択可能です。

回転式測定ヘッド(RMU)

センサーカートリッジの交換作業が不要に

回転式測定ヘッド (RMU) は最大6種類のセンサーを搭載可能。測定種類はプル/プッシュ、ピール、シェア、最大測定荷重200kgfの中から自由に選択可能です。

各種測定ツール

測定用ツールは、豊富な標準品以外にも、お客様のご要求に合わせたカスタム設計品の提供も可能です。

ツィーザーユニット

ツィーザーユニットは3種類から選択。USB接続タイプは掴み荷重・先端爪の開放時/閉じ時の距離を設定可能です。

  • マイクロモーター制御(USB接続タイプ)
  • メカニカルタイプ
  • ニューマチック開閉制御
各種測定ツール

Control your alignment

測定用ツールはカスタム設計品の提供も可能です。

Tools-Top
Tools-Bottom

ツィーザーユニット

ツィーザーユニットは3種類から選択。USB接続タイプは掴み荷重・先端爪の開放時/閉じ時の距離を設定可能です。

  • マイクロモーター制御(USB接続タイプ)
  • メカニカルタイプ
  • ニューマチック開閉制御
Tools-Bottom
各種測定ツール
各種ワークホルダで様々なサンプルに対応

様々なサンプルに対応

  • ワークホルダの交換も容易
  • 作業効率の大幅改善
  • 正確で容易なツール位置合わせ
  • 各種ワークホルダ(カスタム設計含む)を提供
  • 高速稼働ステージ、ダイレクトドライブモーター、リニアエンコーダ採用
  • 搭載精度の高いワークホルダで正確な測定を実現
各種ワークホルダで様々なサンプルに対応
各種ワークホルダで様々なサンプルに対応

様々なサンプルに対応

  • ワークホルダの交換も容易
  • 作業効率の大幅改善
  • 正確で容易なツール位置合わせ
  • 各種ワークホルダ(カスタム設計含む)を提供
  • 高速稼働ステージ、ダイレクトドライブモーター、リニアエンコーダ採用
  • 搭載精度の高いワークホルダで正確な測定を実現
一度その快適な操作性を体験すると他社製品には戻れません!

快適な操作性

  • サンプルのロード・アンロードが容易
  • LED照明で快適な視界を確保
  • 作業者の操作性を第一に設計
  • 各種調整可能な顕微鏡用アームで快適な観察環境を
  • エルゴノミクスに考慮した作業者に優しい装置
Peddle Sigma

誰にでも使いこなせる操作性

  • 品質管理分析機能(SPC)を標準搭載
  • 測定データの管理に必要な各種情報を紐づけ保存
  • 作業者のレベルに応じてカスタム可能なメニュー体系
  • 品質管理グラフ・波形グラフは自動描画
  • カスタム設定可能なエクスポート機能、SECS/GEM対応(オプション)
Modular by design

オプションを後から追加可能なデザイン

  • ツール・ワークホルダのカスタム設計に対応
  • 自動ロード/アンロードに対応する仕様もございます
  • 各種カメラオプションで様々なニーズに対応
一度その快適な操作性を体験すると他社製品には戻れません!

快適な操作性

  • サンプルの搭載・取り外しが容易
  • 各種LED照明オプション
  • 作業者の操作性を第一に設計
  • 視野を調整しやすい顕微鏡用アーム
  • エルゴノミクスに考慮した作業者に優しい装置です
ソフトウェア画面

使いやすい
ソフトウェア

  • 品質管理分析機能を標準搭載
  • 測定データの管理に必要な各種情報を紐づけ保存
  • 作業者のレベルに応じてカスタム可能なメニュー体系
  • 品質管理グラフ・波形グラフは自動描画
  • カスタム設定可能なエクスポート機能、SECS/GEM対応(オプション)
Modular by design

オプションの
追加が容易なデザイン

  • 測定用ツール/ワークホルダのカスタム設計に対応
  • 自動ロード/アンロードに対応する仕様もございます
  • 各種カメラオプションで様々なニーズに対応

Sigma HF/L 装置仕様

STAGESSIGMA HFSIGMA L
X-stage (mm)500500
Y-stage (mm)500500
Z-stage (mm)200200
Axis speed (mm/s)500500
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm)1010
Digital temperature correctionStandardStandard
ACCURACY
Accuracy (%)10.075
ADC resolution (bit)2424
Sampling frequency (kHz)1010
Shear height (step back) accuracy ±1 μmStandardStandard
Programmable landing force down to 5 gfOptionalStandard
MECHANICAL
Footprint X (mm)12001200
Footprint Y (mm)12001200
Height (mm)25002500
Weight (± kg)13501350

製品の詳細については弊社までお問い合わせください。各仕様は製品改善等のため予告なく変更されることがあります。ご了承ください。    標準仕様    オプション    非対応

お問い合わせ

Herbert Stuermann