Sigma W8

Wafer
bond Tester

Sigma-W8+loader-2022
Sigma-W8+loader-2022

Sigma W8

Wafer bond Tester

Bond Tester für Wafer 4 - 8 Zoll

  • Wafers oder auf Waferebene 4 – 8 Zoll (up to 200 mm)
  • Vollautomatischer Wafer Bond Tester
  • X/Y Achsen X: 370 mm, Y: 370 mm
  • Kraftbreiche von 1 gf – 10 kgf
  • Bump pitch bis zu 50 µm
Sigma-Automatisierung

Vollautomatisierung

Der Sigma Bond-Tester ist modular aufgebaut und verfügt über bahnbrechende Automatisierungsfunktionen zum automatischen Laden, Testen und Analysieren. Die rotierende Messeinheit (RMU) beherbergt bis zu 6 Sensoren, die eine kontinuierliche Prüfung ermöglichen. Die Software umfasst Vision- und Deep-Learning-Technologie, um menschliche Fehler zu eliminieren.
Wafer-loader-W8

Wafer loader

Integrieren Sie die Sigma W8 mit einem unabhängigen Wafer-(Ent-)Loader für Vollautomatische Bondtests. Der Wafer-Handler lädt die Wafer automatisch, richtet sie aus und überträgt sie von der Kassette auf den Bondtester.

Lift pins

Das System sichert flache und verzogene Wafer sanft mit den weichen, flexiblen Spitzen an den PID-gesteuerten Wafer-Liftpins.
Sigma-W12-2022

Auf die Sigma W12 upgraden

Die Sigma W8 ist aufrüstbar zum marktführenden Bondtester Sigma W12. Es können Wafer bis zu 12 Zoll (300 mm) vollautomatisch getestet werden. Die Sigma W12 wird mit einem 600-mm-X-Tisch geliefert, um Unebenheiten bis zu 20 µm zu testen. Die Upgrade-Möglichkeit macht die Sigma W8 zu einer zukunftssicheren Investition.

Vollautomatisierung

Beseitigen Sie menschliches Versagen und sparen Sie Produktionskosten.

Händler

Die Roboterhandhabung gewährleistet ein sicheres Be- und Entladen von Anwendungen und vermeidet Handhabungsfehler und -schäden. Wir bieten Händler für:

  • Wafers (EFEM)
  • Waffle trays
  • Magazinen

Einfach Programmierung

Die Sigma-Software ermöglicht die einfache Programmierung von Schritten, Positionen und Befehlen der gesamten Automatisierung. Der Automatisierungseditor verwendet Kameravisualisierung und intelligente Assistenten.

Smart Vision Kameras

Sehen Sie das nicht Wahrnehmbare mit bis zu 3 Live-Kameraoptionen. Bringen Sie die interessanten Funktionen mit Bildern oder Videos mithilfe hochauflösender Kameras, flexibler LED-Beleuchtung und fantastischer Bildverarbeitungsoptionen zur Geltung.

Werkzeugausrichtung

Eine genaue Werkzeugausrichtung ist wichtig, um die richtigen Verbindungen korrekt zu testen. Wir bieten verschiedene Lösungen für eine perfekte Ausrichtung:

  • Selbstausrichtende Schertools
  • Tiefer Zugang
  • Rotierende Messeinheiten
  • Konzentrizitätskorrektur

Referenzmarkenerkennung

Definieren Sie erkennbare Formen, Muster oder Markierungen als globale oder lokale Referenz für die Positionierung und automatische Werkzeugausrichtung.

Drahterkennung

Erkennung von Bauteilen und fine Pitch Drähten, die Aufgrund von Prozesstoleranzen oder Teilehandhabung aus der Position geraten.

Bruchkodelauf

Eine Sigma bietet zwei Alternativen, um die Einstufung effizienter und konsistenter zu gestalten:

  • Der Bediener führt alle Abstufungen in einem Schritt nach einer Reihe von Tests mit dem Mikroskop oder einer Offsetkamera durch.
  • Eine Sigma kann noch einen Schritt weiter gehen und die Fehlermodi automatisch bestimmen (automatische Einstufung).

Automatischer Bruchkode

Automatische Bewertung der Fehlermodi der Testergebnisbilder mit Bruchkodeunterstützung. Die optische Inspektion berechnet die verbleibende Fläche der Materialmenge als Prozentsatz des Ganzen.

Bildvermessung (AOI)

Eine detaillierte optische Inspektion hilft Ihnen, Bildvermessungen durchzuführen oder die Fehlermodi der erfassten Testergebnisse zu identifizieren. Für eine erweiterte Bildverarbeitung, Filterung, Segmentierung und Erkennung von Formen können Sie die automatische optische Inspektion (AOI) verwenden.

Daten Export

Verbessern Sie die Datenverarbeitung mithilfe des automatischen Exports und von SECS / GEM zur Verfolgung und Steuerung.

RMU

Nie wieder Cartridge Tausch

Die Rotierende Messeinheit (RMU) enthält bis zu 6 flexible Sensoren, die mit verschiedenen Zug-,Peel-, Druck- oder Scherwerkzeugen konfiguriert werden können. Dies ermöglicht kontinuierliche Tests bis zu 200 kgf.

RMU

Nie wieder Cartridge Tausch

Die Rotierende Messeinheit (RMU) enthält bis zu 6 flexible Sensoren, die mit verschiedenen Zug-,Peel-, Druck- oder Scherwerkzeugen konfiguriert werden können. Dies ermöglicht kontinuierliche Tests bis zu 200 kgf.

Kontrollieren Sie Ihre Anpassung

Mehrere Testmöglichkeiten erfordern unterschiedliche Testwerkzeuge. Neben einer Vielzahl von Standardwerkzeugen zum Ziehen, Peelen, Drücken oder Scheren entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, um alle Testanforderungen zu erfüllen.

Greifer

Sie können die Greifkraft sowie die Öffnungs- und Schließposition steuern. Es stehen 3 Arten von Pinzetten zur Auswahl:

  • Elektrisch (USB)
  • Mechanisch
  • Pneumatisch
Tools

Kontrollieren Sie Ihre Anpassung

Mehrere Testmöglichkeiten erfordern unterschiedliche Testwerkzeuge. Neben einer Vielzahl von Standardwerkzeugen zum Ziehen, Peelen, Drücken oder Scheren entwickeln wir kundenspezifische Lösungen, um alle Testanforderungen zu erfüllen.

Werkzeug-Deckel
Werkzeug-Boden

Greifer

Sie können die Greifkraft sowie die Öffnungs- und Schließposition steuern. Es stehen 3 Arten von Pinzetten zur Auswahl:

  • Elektrisch (USB)
  • Mechanisch
  • Pneumatisch
Werkzeug-Boden
Tools
Ihre Probe passt auch!!

Ihre Probe passt auch!

  • Schnellwechsel Werkstückhalter  
  • Maximieren Sie Ihren Durchsatz  
  • Genaue Ausrichtung
  • Große Auswahl und maßgeschneiderte Klemmlösungen
  • Hohe Achsen Geschwindigkeit, Direct-Drive Motor, Linear Encoder
  • Das sichere Schloss sorgt für eine reproduzierbare Positionierung
Ihre Probe passt auch!!
Ihre Probe passt auch!!

Ihre Probe passt auch!

  • Schnellwechsel Werkstückhalter  
  • Maximieren Sie Ihren Durchsatz  
  • Genaue Ausrichtung
  • Große Auswahl und maßgeschneiderte Klemmlösungen
  • Hohe Achsen Geschwindigkeit, Direct-Drive Motor, Linear Encoder
  • Das sichere Schloss sorgt für eine reproduzierbare Positionierung
Love Sigma Bond Tester

Ein Vergnügen einzurichten

  • Einfacher Probenanschluss
  • Flexible LED Beleuchtungsoptionen
  • Entwickelt für die Bediener
  • Einstellbares Mikroskop
  • Keine stressigen Arbeitsbedingungen
Peddle Sigma

Einfach für alle zu bedienen

  • Flexible Analyse der statistischen Prozesskontrolle (SPC)
  • Einzigartige Formularfunktionen für die SPC-Verwaltung
  • Software hat Einfach- und Experten Modus
  • Kontrolldiagramm und Kraftdiagramme in Echtzeit
  • Flexibler Export und SECS/GEM
Modular aufgebaut

Modular aufgebaut

  • Kundenspezifische Werkzeuge und Werkstückhalter
  • Bedienerfreie Ladeoptionen
  • Leistungsstarke Kameraoptionen
Love Sigma Bond Tester

Ein Vergnügen einzurichten

  • Einfacher Probenanschluss
  • Flexible LED Beleuchtungsoptionen
  • Entwickelt für die Bediener
  • Einstellbares Mikroskop
  • Keine stressigen Arbeitsbedingungen
SPC-Bildschirm

Einfach für alle zu bedienen

  • Flexible Analyse der statistischen Prozesskontrolle (SPC)
  • Einzigartige Formularfunktionen für die SPC-Verwaltung
  • Software hat Einfach- und Experten Modus
  • Kontrolldiagramm und Kraftdiagramme in Echtzeit
  • Flexibler Export und SECS/GEM
Modular aufgebaut

Modular aufgebaut

  • Kundenspezifische Werkzeuge und Werkstückhalter
  • Bedienerfreie Ladeoptionen
  • Leistungsstarke Kameraoptionen

Spezifikationen Sigma W18

STAGESSIGMA W8
X-stage (mm)370
Y-stage (mm)370
Z-stage (mm)168
Axis speed (mm/s)50
Resolution linear encoders (backlash free drives) (nm)30
Digital temperature correctionStandard
ACCURACY
Accuracy (%)0.075
ADC resolution (bit)24
Sampling frequency (kHz)10
Shear height (step back) accuracy ±1 μmStandard
Programmable landing force down to 5 gfStandard
MECHANICAL
Footprint X (mm)620
Footprint Y (mm)935
Height (mm)608
Weight (± kg)100
Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen und Optionen für Ihr Unternehmen. Technische Daten können ohne vorherige Ankündigung geändert werden.   Standard   Optional    Nicht verfügbar

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Dirk Schade